出光、ナノテク棟が完成---電子材料分野の研究開発を強化

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出光、ナノテク棟が完成---電子材料分野の研究開発を強化
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出光興産は、千葉県袖ケ浦市にある先進技術研究所内に電子材料分野の研究施設「ナノテク棟」を建設し、4日に竣工すると発表した。

ナノテク棟は、最先端の電子材料分野の研究開発を強化する目的で、総投資額13億円で2007年3月に建設を決定した。FPD(フラットパネルディスプレイ)や半導体、集積回路などの基板上に形成する薄膜の作製とその評価施設用、さらにFPDや集積回路の基板上に微細な回路パターンを現像するリソグラフィー施設用に最新鋭のクリーンルーム4室を設置した。

また、電子材料を中心とした機能性材料の製造検討を行う有機合成実験室も備えている。

最近は特に電子材料分野で、従来よりも微細、精密、高性能な機能性材料のニーズが高まっており、同社でも中長期にわたってこの分野の開発に注力していく計画。ナノテク棟では、重点研究テーマとしているFPD向けの最先端機能性材料や次世代半導体製造用フォトレジスト材料開発の加速化、次世代以降の半導体材料の研究開発を発展させ、迅速かつ継続的に先進的な製品を提供していく方針だ。
《レスポンス編集部》

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