三菱マテリアル、高信頼性薄膜キャパシター材を開発…スマートフォン向けに

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三菱マテリアルは、スマートフォンなどの高機能移動体通信端末用の薄膜キャパシター(蓄電素子)向けに製品素子を大幅に長寿命化した高誘電体材料の開発に成功した。

携帯電話などの移動体通信端末には、キャパシターなどの多くの電子回路素子が使用されている。特に、最近シェアを拡大しているスマートフォンに高度化、小型化した電子回路素子のニーズが高まっている。

同社では、三田工場で薄膜形状の素子を製造する技術として、低コストな湿式プロセス向けに、薄膜キャパシター製造用のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系高誘電体ゾルゲル液を製造している。

今回、同社の中央研究所は、三田工場と共同で材料設計や膜組織制御に工夫、独自の寿命評価技術を持つ優位性を最大限に活用し、高温・高圧下での加速寿命試験で現行標準タイプの十数倍の長寿命をもつ薄膜キャパシターを実現する新しいPZT系ゾルゲル液の開発に成功した。
《レスポンス編集部》

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