JSR、次世代半導体プロセス材料をトリケミカルに委託生産を検討

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JSRは、トリケミカル研究所に、JSRが開発した次世代半導体プロセス材料を委託生産する検討を行うことで、基本合意したと発表した。今後、両社は、強みを活かした革新素材を市場に提供するため、生産・販売に関する包括的な提携を視野にいれた検討を継続する。

世界の半導体市場は、情報電子分野、自動車分野、デジタル家電分野などのエレクトロニクス製品の需要拡大を背景に成長の持続が見込まれている。半導体の微細化・高集積化に対するニーズは高まり、半導体の設計・製造に関する技術課題も高度化、複雑化して難易度が高まることが予想されている。

高分子技術、機能性材料に強みをもつJSRとウルトラファインケミカルに強みをもつトリケミカルは、両社が協力することで最先端半導体製造プロセス用の高度な材料を製造する方針だ。

JSRは、従来のフォトレジストやCMP材料に加えて、新分野として22ナノメートル半導体製造プロセスに使用される可能性のある新しいCVDプレカーサーを開発している。今回、この製品のトリケミカルでの製造委託の可能性についての検討を開始する。
《レスポンス編集部》

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