アルテック、太陽光発電用シリコンウェハーの検査装置を販売開始

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アルテックは、オーストラリアbT Imaging社の開発した太陽光発電の検査工程で使われるシリコンウェハーのライフタイム検査装置の輸入販売を開始した。

この装置では、高出力のレーザーを使用するPL方式を採用することで、光学非接触でシリコンウェハーのライフタイム検査が可能となる。

ベアウェハーの検査は目視でのライフタイム検査が主流だったが、bT社は対象物に対して均一にレーザー光を照射する測定ができる装置を開発した。従来シリコンブロック、ベアウェハー、セルを同一の検査装置で検査することはできなかったが、ライフタイム検査装置ではこの3つを一つの装置で検査することが可能。また、非接触で検査をすることで、シリコンウェハーを傷付けることなく、検査スピードも従来までは数10分かかっていたところを最速約1秒で検査ができる。高解像度も1.5倍になった。

シリコンウェハーのライフタイム検査は太陽電池の変換効率を左右する重要な工程。検査装置は現在太陽光発電市場シェアの過半数を占めているシリコンを使用した製造の工程に適用が可能で、太陽電池製造メーカー、研究機関、シリコンウェハー製造メーカーなどに拡販を見込んでいる。

標準価格帯は1台あたり約5000万円で、アルテックでは今後3年間で30台の受注を見込んでいる。

《レスポンス編集部》

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