非接触厚さ測定の新基準、「CL-7100」シリーズを12月発売…小野測器

静電容量式非接触厚さ計 CL-7100
  • 静電容量式非接触厚さ計 CL-7100
  • 測定例: スライドテーブル上のシリコンウェハー厚さ測定(CL-015 スライドテーブル使用)
  • 静電容量式非接触厚さ計 CL-7100

小野測器は10月8日、導体・半導体および絶縁体の厚さを1台で非接触測定可能な「静電容量式非接触厚さ計 CL-7100シリーズ」を12月に発売すると発表した。

本製品は、長年のロングセラー製品であるCL-5610シリーズの後継機で、測定精度を±0.05~0.12%FS(センサーによる)まで高め、演算周期を従来の20msから10msに短縮した。これにより多点連続測定や高速生産ラインでの品質管理を効率化できる。

対応素材はシリコンウェハー、モーター用電磁鋼板、EVバッテリー用フィルムなど多岐にわたり、オプションのCL-0740装着で絶縁体の厚さ測定も可能だ。


《森脇稔》

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