日本ガイシ、独自製法による8インチSiCウエハーの研究成果発表へ…ICSCRM 2025

6インチのSiCウエハー
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日本ガイシは、9月14日から19日まで韓国・釜山で開催される国際会議「International Conference on Silicon Carbide and Related Materials(ICSCRM)2025」に参加すると発表した。

ICSCRMは次世代パワー半導体素子に使われる炭化ケイ素(SiC)に関する世界最大の国際会議。同社は開発中のSiCウエハーに関する研究成果を発表するとともに、関連製品を展示する。

同社は9月19日の講演で、8インチSiCウエハーの基底面転位(BPD)低減に関する研究成果を発表する。SiCパワーデバイスの歩留まりや信頼性の向上に対し、SiCウエハーのBPD低減は重要な課題となっている。


《森脇稔》

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