東京エレクトロンは、世界的な半導体不況から着工を延期していた宮城県大和町の新工場の着工を再開する。
新工場の着工を延期していたが、半導体製造装置の市場環境が好転してきたことから、2010年夏に着工する。稼動開始は2011年春以降になる予定。
また、投資規模は、当初予定と同じで、取得済みの土地を含め、総額で250億円前後となる見込み。
新工場は、今後市場の大きな成長が期待される半導体用エッチング装置の開発・量産機能を集約し、一貫体制とすることで、高付加価値製品の開発期間を短縮する。また、量産方式を見直すことで生産性の向上を図り、納期を短縮する。