アルテック、太陽電池セル用最新型高速プラズマCVD装置を国内販売

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アルテックは、オランダOTBソーラー製太陽電池セル用最新型高速プラズマCVD装置を4月から国内で販売を開始する。

高効率結晶系太陽電池セル生産ラインのキーテクノロジーとなるOTBソーラーのプラズマCVD装置は高生産効率を可能にするリモートプラズマ方式を採用、独自の特許技術であるETP(エンハンスト・サーマル・プラズマ)及びLMS(リニア・モーター・システム)を踏襲、最終製品の性能を左右する製膜性能はそのままにボトルネックであったハンドリング機構を再設計して、更なるコンパクト化、ウェハの処理枚数が毎時2400枚を実現した。

今回販売を開始するモデルは従来機の約半分の床面積で、約2倍のハイスループットが可能。これによりユーザーは工場サイズをそのままに従来機の置き換えだけで処理能力を増強できる。急速に伸びている需要への迅速な対応が可能になる。

再生可能エネルギーの中心として太陽電池は今後も欧米を中心に世界的な需要が見込まれ、また国内でも今年から復活した補助金制度の後押しもあり、太陽電池セル出荷量世界有数の国内メーカーも引き続き大きな設備増設が期待されている。

設備の価格は3億 - 4億円。同社では国内太陽電池大手セルメーカーを中心に売り込み、今後2年間で10台の受注を見込む。
《レスポンス編集部》

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