ニコン、解像度0.5µmのデジタル露光装置開発へ…ポスト5GやAI普及による消費電力増大に対応

デジタル露光装置のイメージ(現行製品の「DSP-100」)
  • デジタル露光装置のイメージ(現行製品の「DSP-100」)
  • デジタル露光装置内部のイメージと解像度0.5µm(L/S)達成を目指す要素開発の内容

ニコンは、解像度0.5µm(L/S)のデジタル露光装置の開発に新たに着手すると発表した。

NEDO(国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構)が実施する「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(補助)」に採択されたもので、ニコンは「高精細アドバンストパッケージ用デジタル露光装置の開発」を提案し、選ばれた。

本事業は、ポスト5Gに対応した情報通信システムの中核となる技術を開発することで、ポスト5G情報通信システムの開発・製造基盤の強化と、デジタル社会と脱炭素化の両立を目指すものだ。

《森脇稔》

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