電子計測器の製造・販売を手がける小野測器は、新製品「TEDS対応高感度小型3軸加速度センサー NP-3580N10」を発表・発売した。
■開発の背景
半導体製造装置や精密加工機などの分野では、ナノメートルレベルの微細化が進んでおり、加工精度に直結するわずかな振動の管理が不可欠となっている。
しかし、一般的な汎用センサーでは微小な振動がセンサー自身のノイズに埋もれてしまい、計測が困難な場合があった。また、計測対象となる装置内部の加工部フレームなどは限られたスペースしかなく、現場では「高感度」と「小型・軽量」を両立したセンサーが強く求められていた。
