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NEDO、高品質薄板化SiCエピウエハを開発…自動車の低燃費化に貢献 2枚目の写真・画像
自動車 ビジネス
企業動向
2016年4月20日(水) 14時15分
従来工程フローと新規「SiCウエハの平坦表面処理技術」工程フロー
Si付与TaC/Taルツボ模式図
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新エネルギー・産業技術総合開発機構 NEDO
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