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NEDO、高品質薄板化SiCエピウエハを開発…自動車の低燃費化に貢献 1枚目の写真・画像

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従来工程フローと新規「SiCウエハの平坦表面処理技術」工程フロー
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Si付与TaC/Taルツボ模式図
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