パナソニック、車載機器などの小型化に貢献するMEMS共振器を開発 1枚目の写真・画像 | レスポンス(Response.jp)
パナソニック、車載機器などの小型化に貢献するMEMS共振器を開発 1枚目の写真・画像
ねじり振動モードの模式図とMEMS共振器の断面構造

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